GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

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标  准  编  号：GB/T 25755-2010 
简体中文标题：真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
繁體中文標題：真空技術 濺射離子泵 性能參數的測量
English Name：Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics

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